2023 сол
НАЗОРАТИ ПАРАМЕТРҲО ВА ИДОРАКУНИИ РАВАНДИ РЕХТАНИ БУҒИ НИМНОҚИЛҲО АЗ ФАЗОИ ГАЗҲО
Қосимов Далер Абдуқодирович – унвонҷӯи кафедраи электроникаи МДТ-и «ДДХ ба номи академик Бобожон Ғафуров» МУАЛЛИФ:
РАҚАМИ ЖУРНАЛ: 1(64). СОЛИ БАРОРИШ: 2023. ЗАБОНИ МАҚОЛА: Русӣ
ЧАКИДА
Шарҳи мухтасар дар бораи усули дар амал маъмултарини ба даст овардани материалҳои нимноқилӣ, аз ҷумла редуксияи кремний-гидрогении галогенидҳо аз фазаи газ оварда шудааст. Маълумот дар бораи ба вучуд омадани омехтаи буг-газ дар шароити истехсолот, инчунин дар доираи вариацияи параметрхои процесси ибтидой дода мешавад. Арзиши натичахое, ки дар истехсоли батареяхои офтобй аз полисилициони дуюмдарачаи рехташуда ба даст оварда шудаанд, кайд карда мешавад.
ВОЖАҲОИ КАЛИДӢ
барқарокунии гидроген, фазаи газ, қабати рехташудаи поликремний.