Файл	Ном	Сабт карда шуд
Касымов Далер Абдукадырович	КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ И УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ОСАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ	31

 
АВТОР(Ы):  Касымов Далер Абдукадырович – соискатель кафедры электроники ГОУ «ХГУ имени академика Бабаджана Гафурова»

НОМЕР ЖУРНАЛА: 1(64).     ГОД ВЫПУСКА: 2023.     ЯЗЫК СТАТЬИ: Русский

АННОТАЦИЯ

Дается краткий обзор самого распространенного на практике способа получения полупроводниковых материалов, в том числе, кремний-водородное восстановление галогенидов из газовой фазы. Приведены данные о формировании парогазовой смеси в производственных условиях, но также и в диапазоне варьирования исходных параметров процесса. Подчеркивается ценность полученных результатов для получения солнечных элементов из вторичного литого поликремния

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА

водородное восстановление, газовая фаза, слой литого поликремния.

• Назад
• Вперёд